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          實(shí)時(shí)膜厚檢測儀

          實(shí)時(shí)膜厚檢測儀

          • 產(chǎn)品型號(hào):DIGILEM-CPM-Xe/Halogen
          • 更新時(shí)間:2024-03-19
          • 產(chǎn)品介紹:實(shí)時(shí)的干涉測量設(shè)備,提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測。單色光打在樣品表面,由于膜厚和高度變化導(dǎo)致不同的光路長度時(shí),使用干涉測量法。通過循環(huán),系統(tǒng)能在監(jiān)控區(qū)使用實(shí)時(shí)監(jiān)測的方法計(jì)算蝕刻和鍍膜的速度,在規(guī)定的膜厚和槽深來進(jìn)行終點(diǎn)檢測。基于這個(gè)相對(duì)簡單的理論,系統(tǒng)不但非常穩(wěn)定,并且可用于復(fù)雜的多層薄膜。
          • 在線留言 86-21-54933058/54933060/54933358/54182486/28097339

          產(chǎn)品介紹

          概要

          實(shí)時(shí)的干涉測量設(shè)備,提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測。單色光打在樣品表面,由于膜厚和高度變化導(dǎo)致不同的光路長度時(shí),使用干涉測量法。通過循環(huán),系統(tǒng)能在監(jiān)控區(qū)使用實(shí)時(shí)監(jiān)測的方法計(jì)算蝕刻和鍍膜的速度,在規(guī)定的膜厚和槽深來進(jìn)行終點(diǎn)檢測。基于這個(gè)相對(duì)簡單的理論,系統(tǒng)不但非常穩(wěn)定,并且可用于復(fù)雜的多層薄膜。

          特征

          • 監(jiān)測透明薄膜的厚度和高度,如GaN,ALGaN,SiO2 和SiN。
          • 適用于等離子體頻譜分析。
          • 生產(chǎn)線使用內(nèi)置軟件。
          • 終點(diǎn)檢測法的靈活應(yīng)用。
          • *的加工特點(diǎn)。

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