產(chǎn)品目錄
展開
推薦產(chǎn)品
聯(lián)系我們
- 上海首立實(shí)業(yè)有限公司
- 公司地址：上海市閔行區(qū)古美路1471號(hào)華城廣場(chǎng)307室
- 公司傳真：86-21-54933358-813
- 聯(lián)系QQ：
掃一掃，立刻溝通
你的位置：首頁 > 產(chǎn)品展示 > > HORIBA（過程&環(huán)境） >實(shí)時(shí)膜厚檢測(cè)儀
產(chǎn)品詳細(xì)頁
實(shí)時(shí)膜厚檢測(cè)儀
- 產(chǎn)品型號(hào)：LEM-CT-670-G50
- 更新時(shí)間：2024-03-19
- 產(chǎn)品介紹：概要實(shí)時(shí)的干涉測(cè)量設(shè)備，提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測(cè)。單色光打在樣品表面，由于膜厚和高度變化導(dǎo)致不同的光路長(zhǎng)度時(shí)，使用干涉測(cè)量法。通過循環(huán)，系統(tǒng)能在監(jiān)控區(qū)使用實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)的方法計(jì)算蝕刻和鍍膜的速度，在規(guī)定的膜厚和槽深來進(jìn)行終點(diǎn)檢測(cè)。基于這個(gè)相對(duì)簡(jiǎn)單的理論，系統(tǒng)不但非常穩(wěn)定，并且可用于復(fù)雜的多層薄膜。
- 在線留言 86-21-54933058/54933060/54933358/54182486/28097339
產(chǎn)品介紹
概要
實(shí)時(shí)的干涉測(cè)量設(shè)備，提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測(cè)。單色光打在樣品表面，由于膜厚和高度變化導(dǎo)致不同的光路長(zhǎng)度時(shí)，使用干涉測(cè)量法。通過循環(huán)，系統(tǒng)能在監(jiān)控區(qū)使用實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)的方法計(jì)算蝕刻和鍍膜的速度，在規(guī)定的膜厚和槽深來進(jìn)行終點(diǎn)檢測(cè)。基于這個(gè)相對(duì)簡(jiǎn)單的理論，系統(tǒng)不但非常穩(wěn)定，并且可用于復(fù)雜的多層薄膜。
特征
- 兩種類型的激光器，可兼容大范圍的薄膜，包括SiN, SiO2, GaAs, InP, AlGaAs, and GaN.
- 生產(chǎn)線使用內(nèi)置軟件。
- 終點(diǎn)檢測(cè)法的靈活應(yīng)用。
- *的加工特點(diǎn)。