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          產(chǎn)品詳細(xì)頁
          Auto 色新型相調(diào)制橢圓偏振光譜儀

          Auto 色新型相調(diào)制橢圓偏振光譜儀

          產(chǎn)品介紹

           

          概要

          Auto 色是一種新型的按鍵式全自動薄膜測量分析工具,簡單的幾個按鍵操作,即可完成全自動測量和分析。

          幾秒鐘可完成樣品分析,并提供完整的樣品堆疊特性報告-包括薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)、表面粗糙度和薄膜的不均勻性。

          Auto 色 是一種高性能系統(tǒng),它包括XYZ自動樣品臺、測量點(diǎn)實(shí)時成像和光斑尺寸自動選擇功能,其各種各樣的附件可滿足用戶對多種應(yīng)用的需求。

          Auto 色借助完整的操作向?qū)В詣訖z測并診斷問題、同時提供完整的操作指南,實(shí)現(xiàn)對故障進(jìn)行輕松處理。

          便捷的操作性能和大量自動化特性,使得 Auto 色 成為一種可用于常規(guī)薄膜測量和質(zhì)量控制的設(shè)備。

          特征

          • 薄膜分析變得輕松簡單
          • 高性能系統(tǒng)
          • *的光斑可視系統(tǒng)(技術(shù))
          • 多種附件選擇
          • 智能診斷

          Auto 色的可視化系統(tǒng)

          Auto 色 集成了*的MyAutoView光斑可視系統(tǒng)(技術(shù)),該系統(tǒng)配備在標(biāo)準(zhǔn)橢圓偏振光譜儀中。

          MyAutoView允許操作者全程觀測樣品光斑,以確保各種類型的樣品都能在*正確的位置,以合適的光斑尺寸進(jìn)行測量。

          Auto 色 所提供的圖像有大約1毫米的視場和10微米的分辨率,這對于大多數(shù)測量來說是非常必要的。

           

           

          樣品類型

          MyAutoView光斑可視系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)

          舉例

          圖形化樣品

          對圖形區(qū)域上的測量光斑直接觀測.

          玷污樣品

          直接觀測樣品上的測量光斑,以便選擇合適測量位置.

          透明樣品

          -只有前反射時,直接選擇
          -當(dāng)不能忽略背面反射時,計算背面反射度

          粗燥樣品或不均勻表面的樣品 (有條紋、瑕疵)

          直接觀測樣品的測量光斑,以便選擇合適測量點(diǎn).

          微結(jié)構(gòu)樣品

          直接觀測樣品上能夠表示0.8mm的細(xì)線特征的測量光斑.

          圓柱狀或球形的樣品

          直接觀測在這種區(qū)域上用于光斑定位的平面。右圖顯示,光斑大小沒有被優(yōu)化到適合橢圓偏振的測量.

          放在液體池、控溫臺等附件里的樣品

          對于放在液體池里的樣品,測量定位變得非常容易(圖示樣品).

          技術(shù)參數(shù):

          光譜范圍:440-858nm 

          光斑尺寸: 500 µm x 750 µm; 500 µm x 500 µm; 250 µm x 500 µm; 250 µm x 250 µm; 70 µm x 250 µm; 100 µm x 100 µm; 50 µm x 60 µm; 25 µm x 60 µm 

          測試時間:通常為5秒,可小于1秒
           
          準(zhǔn)確度:NIST 1000 Å SiO2 /Si: d ± 4 Å - n(632.8 nm) ± 0.002, Fu色d silica: n ± 0.004 

          觀測樣品: CCD-視場范圍1.33*1mm,分辨率1µm 

          重復(fù)性:± 0.2 Å  (測試條件 NIST 150 Å SiO2 /Si )

          樣品臺尺寸:200mmX200mm;XYZ方向自動調(diào)節(jié);真空檢測;Z軸高度50mm 

          探測器:CCD-分辨率:2nm

          測角儀:固定在70度,可預(yù)設(shè)為66度或者61.5度

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